Die richtige Wellenlänge einstellen
Wir bauen nicht einfach nur Lampen zusammen – wir kümmern uns vielmehr um die Steuerung der Photonen.
Bis zum Jahr 2026 wird die Branche von den breitbandigen UV-Lampen Abstand nehmen. Es geht jetzt um extrem präzise, schmalbandige Lichtquellen. Wenn man einen Reinraum oder eine Halbleiterproduktionslinie einrichtet, weiß man, wie wichtig diese Präzision ist. Schon eine kleine Abweichung – auch nur 5 Nanometer – kann dazu führen, dass ganze Serien von Wafern unbrauchbar werden. Das bedeutet viel Geldverlust in kürzester Zeit.
Der Trick zur Einstellung der Wellenlänge
Die meisten UV-Lampen, die man im Handel kaufen kann, „lecken“ Energie ab – sie geben Wellenlängen ab, die man eigentlich nicht haben möchte.
Um das zu verhindern, verwenden wir spezielle Stoffe im Quarz und achten sehr genau auf die Gasmischung im Glührohr. Durch Anpassung des Drucks sowie der Elektrodenmaterialien wird die Lampe dazu gezwungen, genau eine bestimmte Wellenlänge auszusenden. So kommt die Energie genau dorthin, wo sie benötigt wird. Keine übermäßige Belastung der Substrate – nur saubere, gezielte Energieabgabe.
Umgang mit Hitze und Verschleiß
UV-Lampen mit hohem Leistungsoutput sind sehr belastet – sie werden heiß und arbeiten unter hohen Bedingungen.
Wir verwenden hochreinen synthetischen Quarz, denn dieser „solarisiert“ nicht. Mit anderen Worten: Das Glas wird im Laufe der Zeit nicht braun und blockiert somit nicht die UV-Strahlung.
Aber es gibt einen Haken: Wenn man versucht, eine extrem schmale Wellenlänge zu erreichen, wird die Lampe noch heißer. Wenn man bei maximaler Leistung arbeitet, muss man sicherstellen, dass die Kühlung ausreicht. Andernfalls verformt sich der Quarz. Einfach so.
Unter realen Bedingungen funktionieren lassen
Wir bauen diese Lampen so, dass sie direkt als Ersatz verwendet werden können.
Egal, ob man eine völlig neue Produktionslinie einrichtet oder eine alte Photolithografieanlage aufrüstet – die Abmessungen bleiben gleich. Es ist also nicht notwendig, die gesamte Anlage neu aufzubauen.
Der eigentliche Vorteil liegt jedoch in der Stabilität. Eine Lampe, die nach 100 Stunden bereits an Leistung verliert, ist im Prinzip nutzlos in einem Präzisionslabor. Deshalb kalibrieren wir jede einzelne Lampe. Wir stellen sicher, dass die Strahlintensität über die gesamte Länge des Glührohrs konstant bleibt.