השגת אורך הגל המדויק
אנחנו לא סתם מייצרים נורות – אנחנו בעצם עוסקים בניהול של פוטונים.
בהתחשב בשנת 2026, התעשייה עוברת משימוש בנורות UV בעלות טווח ספקטרלי רחב לשימוש בנורות בעלות דיוק גבוה מאוד. אם אתם מקימים חדר נקי או ײיין ייצור של שבבים, אתם יודעים כמה חשוב הדיוק הזה. טעות קטנה – אפילו 5 ננומטרים – יכולה להרוס כל בקתה של שבבים. זה אומר הפסד כספי גדול ברגע אחד.
הטריק להצרת טווח הספקטרום
העניין הוא שרוב נורות UV שניתן לרכוש בחנויות “חודרות” – הן משחררות אורכי גל שאיננו רוצים.
כדי למנוע זאת, אנחנו משתמשים בחומרים מסוימים בתוך הקוורץ, ובוחרים בקפידה את תערובות הגזים שנמצאים בתוך הצינור. על ידי שינוי הלחץ וחומרי האלקטרודות, אנחנו גורמים לנורה להפיק את האנרגיה בדיוק במקום הנכון. כך אין חשש מפני נזק חום לחומרים שעליהם מופעלת הנורה. זו אנרגיה נקייה וממוקדת.
התמודדות עם חום ושחיקה
נורות UV בעלות יצוא גבוה סובלות מחום גבוה. אנחנו משתמשים בקוורץ סינתטי באיכות גבוהה, כדי שהוא לא יהפוך לחום עם הזמן ויחסום את הקרינה UV.
אבל יש בעיה: כשמנסים להשיג ערך מדויק של אורך גל, ראש הנורה נהיה חם יותר. אם משתמשים בהספק מרבי, צריך לוודא שמערכת הקירור יכולה להתמודד עם החום. אחרת, הקוורץ יתעוות. זה כל כך פשוט.
שימוש בפועל
אנחנו בונים את הנורות האלה כך שניתן יהיה להחליף אותן בקלות.
בין אם מדובר בהקמת ײיין ייצור חדש או בשדרוג של מערכת פוטוליתוגרפיה ישנה, הממדים נשארים אותו דבר. אין צורך לבנות מחדש את כל המערכת.
היתרון האמיתי הוא היציבות. נורה שמתחילה לאבד את הדיוק שלה לאחר 100 שעות היא בעצם חסרת תועלת במעבדה מדויקת. לכן אנחנו מכווננים כל נורה בנפרד. אנחנו מוודאים שרמת הקרינה נשארת יציבה לאורך כל הצינור, מהקצה האחד לאחר.